嘟!
嘟!
嘟!
随着万宁古的一声令下,光刻室内的报警器闪烁着红光,发出警报,提醒在场的工作人员集中注意力。这一次的光刻模拟实验鸣芯制造公司要投入大量的资金,每一步都要小心谨慎才行。
比如说,光刻掩膜片、光刻胶、电能、中间试剂等损耗品,价格都非常高。这些费用算下来,比真正做一次流片的成本也少不了多少。
故此,万宁古此时的表情非常紧张,目不转睛的盯着第三代光刻机的主控操作界面。随着光刻机激光头和观课工作台的运动,他的嘴角也不由自主的抽抽着,嘴里在念念有词。
“应该没问题!”
“这次一定会成功!”
光刻流片的精度已经超过人类目测的能力范围,工作人员不可能当场就看到激光曝光后的光刻效果。特别是采用finfet制程技术以后,光刻流片的制程工艺更加复杂,工作人员只能从监视器上看到模拟的光刻过程。
所以说,万宁古即便再着急,也只能等到这台第三代光刻机完成光刻曝光的流程才能得知此次模拟光刻的效果。
相对而言,对这种高端工艺不精通的许振鸣来说,这仅仅只是一次普通的实验。“即便这次实验不成功,我们公司也算创造了历史。”他目光柔和的扫视了一眼整个光刻室。
在另一个时空,华夏国的第三代国产光刻机、浸入式光刻制程工艺技术、finfet制程技术等高端芯片foundry制程技术,都要等到老外玩腻了才能攻克。而现在,一鸣集团公司的这般技术专家,已经做得很好了。
“不要慌,一次不成功咱们再来一次。”许振鸣给万宁古等人减压。对于万宁古等人的调试速度,他还是比较满意的。
这时。
“停下!立即终止实验!”万宁古盯着监视器,嘴里大喊了一声。
“怎么了万总?”
“什么地方出了问题?”
“喔……哎……”
其他的技术员都把目光投向了监视器的屏幕。精通芯片foundry技术参数的技术员,此时满脸的懊恼之色。
只见监视器的屏幕上,此时闪耀着报警信号,提示光刻曝光的坐标数据、深度数据、激光能量数据都有问题。
看到这种情况,负责操作的技术员已经按下急停控制按钮。
“嘟……”
“嘟……”
“嘟……”
在警报声中,光刻系统的各个子系统开始缓慢的停下来。
看到这一幕,众人的脸色都不好看。
“一千八百万没了!特么的,老米的激光光路系统也不靠谱!”
万宁古阴沉脸,目光中满是怒火。
在他看来,这台光刻机让他最放心的子系统应该是老米的激光光路系统。而从现在表现的故障来看,却正好是激光光路系统出了毛病。
万宁古怎么能不生气?
其他的工作人员也是一样,满脸的懊恼之色。
大部分的技术员都用眼角的余光偷偷看向许振鸣,想要了解一下老板的心里动向。一次实验花掉将近两千万,哪个老板也不会有好脸色的。
在偷偷打探老板心思的同时,众人几乎都保持沉默,谁也不敢乱发表观点。
这时,胡明镇的学生梁宋松皱了皱眉头,提出不同意见,“万总,我认为出现这种情况的原因比较复杂,不一定是激光光路系统出了毛病。”
“嗯?”万宁古收回凝重的目光,看向梁宋松。
众人当中,梁宋松的芯片foundry制程经验很丰富,说出的观点很有道理。
看了几眼梁宋松,他才挪开目光,跟许振鸣的目光一碰,“许董,我…我们大概需要三四天的时间才能找出原因。”
“没关系。”许振鸣露出一丝笑容,脸上的表情很轻松,好像并没把此次试验的失败放在心上。
“我估计还要试验两三次才能找出真正的故障原因。”
“没问题,试验经费的申请报告我会立即批准。”许振鸣笑了笑,微微一摆手。
他随后朝所有人扫了一眼,“大家不要灰心,先去吃午饭。吃完饭咱们才有力气讨论技术问题。”
许振鸣做出很轻松的表情,就是要给万宁古等人减压,让众人不要背着包袱来搞科学实验。
可是作为项目负责的领头人,万宁古哪有心思吃得下饭。他捧着银色的快餐盆,眉头紧锁的坐到梁宋松的对面。
“老梁,你刚才说光刻机的主体系统有问题?”万宁古举着筷子问梁宋松,并没把夹到筷子上的红烧鱼块往嘴里送。
梁宋松一向比较讲究言行举止,很少在吃饭的时候讨论工作。他把工作和生活分得很开,和米国佬的文化很接近。故此,他在另一个时空会不停的流浪,从米国到湾湾,从湾湾到高丽国,再从高丽国到大陆。
看着眼前着急寻求灵感的万宁古,梁宋松放下手中的筷子,掏出白色的纸巾,斯条慢理的擦了擦嘴角,才微微一笑,“老万,你先把筷子上的鱼块消灭了再说,免得鱼块掉进快餐盆里溅起无数的菜汤。”
梁宋松的动作很优雅,一举一动都透露出米国白领的高雅气质,没有第一时间回答万宁古的提问。
“这鱼儿…跑不掉。”对面的万古宁嘟哝一句,把筷子上的鱼块送进嘴里。随着这一送,他逐渐冷静下来,说出的话也包含深意。
万宁古知道梁宋松的心态一直不稳,对鸣芯制造公司的忠诚度不高,此时已经冷静了下来,也没打算从梁宋松的嘴里得到好的思路。
“激光光路系统和光刻机主体有关联传动,微量的震动量、电磁的干扰量、热能的膨胀量等等,都会影响到激光曝光的稳定性。所以,我们应该从光刻机的主体系统来考虑问题。”
这时,梁宋松一边叠着纸巾一边说话,脸上浮现出胸有成竹的微笑。也不知道他出于什么心思,此次此刻居然说出了自己的思路想法。
“嗯!有道理。”万宁古闻言猛然一惊,激动的拍了一下塑钢餐桌。
随后,他放下手中的筷子,眼冒精光的嚷嚷,“我们应该立即分头实验,一部分人测试激光光路系统,一部分人检测光刻机的主体系统。这样最节省时间!”
经过梁宋松一提醒,万宁古迅速找到灵感,一条成熟的思路瞬间形成。无论怎么说,他这次还是要感谢跟前的谦谦君子梁宋松。
找到了灵感,万宁古也没什么心思坐在这里吃午饭。他立即站起身来,急匆匆的离开了职工餐厅。